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  • 低速气缸:

    双作用气缸,行程20~50mm,速度≤25mm/s;
    连续动作60s内大于0.1μm颗粒物数量小于30,
    使用工况:常温或150℃高温。

  • 双作用高压泵:

    适用介质 NMP/DMSO/EKC/TMAH/醇胺类药水高压泵具有良好的耐腐性;
    增压后介质压力:0-25 MPA;使用温度85℃;
    压力波动性±0.5MPA;最大流量2L/min;pa add≤30ea@0.2μm。

  • 夹钳式流量计:

    可检测瞬时流量和累计流量检测;
    流量范围0-3000mL/min;口径1/4”、3/8”;
    支持流体所有液体(水、油、粘合剂、药液等);
    温度0℃(配管表面无结冰)-100℃;
    树脂配管精度 ± 0.1%;金属配管精度 ± 0.3%

  • 流量调节阀:

    使用温度5-90℃,耐压1MPa,工作压力0-0.5MPa,
    主体材质PTFE/PFA,环境温度10-60℃,
    量范围10-1500ml/min;流量控制精度±1%

  • 汞灯:

    供电220 V, 网口或串口,
    通讯协议ModbusTCP/IP或ModbusRTU,
    参考尺寸125*420*290mm;
    光强稳定性波动<±0.5%/h,
    光强衰减率4000H以上<30%

  • PLC:

    硬件接口Ethercat(大于32轴,同步周期<2ms),
    基于PC的硬件架构(X86),RS485/RS232(波特率115200),
    CAN(Canopen接口 波特率1Mbps),
    扩展模块支持数字量、模拟量、步进电机控制模块;
    支持Modbus RTU / TCP;支持UDP功能;
    支持文件读写功能。

  • ESD TUBE:

    需求公制和英制。
    本体材质PFA,管材本体具有导电条结构,
    可以传导因溶剂流动而产生的静电,
    以及防止火花产生,避免火灾及其它问题。
    参考电阻导电PFA段:5.3×102 Ω-cm,
    绝缘PFA段:>1018 Ω-cm,用于接地的导电带。

  • 流量调节药液阀:

    介质:纯水 / 药液/ 空气 / 氮气,
    使用温度;5-60℃,耐压力0-0.3 Mpa;
    本体材质;PFA 或 PTFE;
    支持手动流量调节功能。

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