技术与创新

磁悬浮扁平中空转子

Supermag磁悬浮中空扁平转子，采用了巧妙的中空设计，极大地节省了空间占用，使得中间部分更易于进行灵活的结构布局。其扁平化的设计不仅保证了结构的稳定性，更能够轻松承载大尺寸晶圆，满足各类高端应用的需求。
更值得一提的是，该转子能够自如地悬浮在金属真空腔内，接受腔外定子的精准姿态控制，实现了高效且稳定的运行，展现了其卓越的性能和广泛的应用前景。

磁悬浮叶轮

Supermag磁悬浮叶轮，基于对叶轮结构的改进设计，降低了泵头及应用该泵头的磁悬浮泵的叶片进口的冲击损失，改善了叶片进口处的流场的紊乱程度，减少了泵内的能量损耗，提高了磁悬浮泵的扬程及整体效率。
同时，在泵的工作流量变化较大时，提高了非设计工况下泵的效率，提高了叶轮对流量波动的适应性。

磁悬浮桨叶

Supermag磁悬浮桨叶，采用小翼桨叶设计，通过在叶片上设置用于调节轴向力的小翼，小翼能产生一个与叶轮的轴向力方向相反的轴向力，以对叶轮的轴向力进行调节，从而避免叶轮因轴向力的影响发生轴线方向的窜动，进而带动转子沿轴线方向窜动，损害转子。
此外，在叶片上设置小翼能增加叶片的机械强度，提高叶片的使用寿命，降低使用成本。

磁悬浮六自由度转子

Supermag磁悬浮六自由度转子运转可靠振动低，可实现超高真空环境。
在分子流区域内，气体分子与高速转动的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。